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物理气相沉积设备 PVD
  磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点,将离子引向被溅射的物质制成的靶电极(阴极),并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成膜的方法。磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控,且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。该技术已经成为制备各种功能薄膜的重要手段。   奥门永利集团微电子突破了溅射源设计技术、等离子产生与控制技术、颗粒控制技术、腔室设计与仿真模拟技术、App控制技术等多项关键技术,建立了具有自主常识产权的核心技术优势,形成了国产集成电路领域高端薄膜制备设备零的突破,设备应用跨越90纳米至14纳米的多个技术代,代表着国产集成电路薄膜制备工艺设备的最高水平,并成功进入国际供应链体系。   奥门永利集团微电子先后在集成电路、先进封装、LED等领域研制了具有自主常识产权的13款PVD产品并成功产业化,从2012年首台设备销售至今,已实现超过200台设备销售,总计超过800万片量产。
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